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无尘室的控制原理和温湿度要求

对无尘室的空气质量以及温湿度控制是无尘室设计与维护的重要性,这里小编为您简单的介绍下无尘室控制的一般原理及温湿度控制的基本要求。
1.空气过滤原理
无尘室里的空气是靠进风系统将气流“活塞”般的挤压进入,气流则是通过初效过滤器,然后再经中效过滤器,然后经过超高效过滤器,最后把洁净空气传入无尘室,使无尘室中的空气尘粒迅速达到相应的无尘室标准要求,并且同时把无尘室内污染排出。为了考虑节能,排出的污染空气会经过回风后,再次经过超高效过滤器而重新传入无尘室。

2.温湿度要求
无尘室空气温湿度的要求由以下综合确定:
 (1)对人的舒适性,以人穿着不同洁净服的情况下充分发挥了工作效率,一般的温度需要21OC~24OC才会比较适宜,若洁净服的要求比较严,那么则20OC~22OC,波动<1.5OC,湿度30%~70%;
 (2)工艺的要求;
 (3)经济性,温湿度及相对湿度夏天越低,冬天越高,则空气处理能耗越大。
当前微电子工厂
无尘室对温湿度的参数大致范围是:温度为24OC+/-1~2OC,要求严的为22OC+/-0.3~0.5OC。湿度为45%+/-5%~10%,要求严的为43%+/-3%。要求全年维持。